电路可靠性的定义是系统或元器件在规定的条件下和规定的时间内，完成规定功能的能力。从集成电路的诞生开始，可靠性的研究测试就成为IC设计、制程研究开发和产品生产中的一个重要部分。制程可靠性评估采用特殊设计的结构对集成电路中制程相关的退化机理（WearoutMechanism）进行测试评估。