氯硅烷是一种化学品，能与含活泼氢的化合物进行激烈反应。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。