五种三昧耶，密教阿阇梨引弟子入坛授法灌顶的五种次第。三昧耶是要誓、不可违越之义。据《大日经》卷五及《疏》卷一五：(1)“初见三昧耶”，即于坛外遥见曼荼罗，遥令礼拜，供养花香散于道场。时无量罪业皆得消除。(2)“入睹三昧耶”，即引入坛中，得见曼荼罗圣众座位，并令礼拜供养，投花散于本位，得本尊名号，若请印明，即授所应者印明。(3)“具坛三昧耶”，为造曼荼罗，告诸尊及印位等，并授印明及一一行法。(4)“传教三昧耶”，通达随修真言门法则，具知缘坛所需方便众艺，为作传教曼荼罗，许可传法师位。(5)“秘密三昧耶”，引入秘密坛中如法作灌顶，由生秘密智，悉见如教所说印坛配位。