体扩散又称点阵扩散。是指通过原子在点阵内（不是沿晶界、表面或其他缺陷区）的热运动引起的扩散。亦称为“晶格扩散”或“晶内扩散”，指原子在晶体内部的扩散过程。晶内扩散的主要机制是空位扩散。