空位凝聚是高温蠕变空位凝聚区的凝聚扩散的一种形式。他是一种硅锭按一拉晶速率分布下进行，其拉速要足够高以限制间隙凝聚，且还要足够低以便将空位凝聚限定在晶锭轴向上的富含空位区上。