原子探针是一种定量显微分析仪器，通过对不同元素的原子逐个进行分析，可绘出金属样品中不同元素的原子在纳米空间中的分布图形。从分析逐个原子来了解物质微区化学成分的不均匀性，原子探针是一种不可替代的分析方法。现已发展为三维原子探针。