利用质谱学原理测量真空系统或真空器件中残余气体成分或分压强的仪器，又称分压强计。真空质谱计一般由离子源、质量分析器和离子检测器三个部分组成。被分析的样品在离子源中被电离成离子，离子经离子光学系统后以一定初始条件进入质量分析器，按质荷比进行分离，最后由离子检测器接收，并测量其强度，从而得到相应的质谱图或数据。