超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，电阻率接近于18.3MΩ*cm。超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。当前，在生物、医药、汽车等领域广泛应用。