表面复合是指位于半导体表面禁带内的表面态(或称表面能级)与体内深能级一样可作为复合中心,起着对载流子的复合作用。为此，通常把半导体非平衡载流子通过表面态发生复合的过程称为表面复合。与体复合相比表面复合更为复杂,它不仅依赖于表面复合中心浓度及体掺杂浓度，还依赖于表面势。