表面声波（Surface acoustic wave）是一种沿弹性材料表面传播，其振幅随深入表面深度指数衰减的弹性波。表面声波传感器以不同灵敏度敏感于周围物理参量的扰动，如温度变化或外力作用下引起表面声波传播动力学的变化，成为温度、压力、扭力、激波等传感器，通常称为物理传感器；如在表面声波器件表面涂敷薄层特种物质及催化膜，以高选择性、高效率吸附周围的气体、液体或固体粒子，使器件负载质量发生变化，形成质量、化学或生物传感器，后者通常称为化学或生物传感器。