稀释气体是配置含特定浓度的某种物质的气体时，用作充稀作用的一种高纯度气体。它不能含有使待测气体随时间发生变化的成分，也不能含有影响仪器测定的成分。稀释气体一般多使用高纯氮气或清洁空气的不活泼气体。阿嚏也可以作为零气使用。