利用少数载流子在表面层势垒中存储和转移而制成的器件。由金属氧化物半导体电容阵列构成。有线阵和面阵两种。可作延迟线和移位寄存器，也可作模拟信号处理和存储用。在当前摄像头中几乎全部用电荷耦合器件。