火花光谱指以火花放电作为发射光谱，常采用线阵CCD作为光电转换器，与传统的光电倍增管的火花光谱仪相比优势明显，不像光电倍增管受物理位置限制，CCD光谱仪接近于全谱，可以任意加减通道，改变基体。虽然原来由于CCD的分辨率没有光电倍增管高而被人诟病，随着CCD技术的发展，CCD仪器的分析限越来越低。通过设计一些分析方法，已经可以分析纯金属物质。