利用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行的精整加工（见切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后进行，其加工余量仅几微米，适于加工曲轴、轧辊、轴承环和各种精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。